真空泵系統(tǒng)的主泵選擇，主泵類型的確定

(1)根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。

(2)根據(jù)真空室進(jìn)行工藝生產(chǎn)時所需要的工作壓力選主泵。應(yīng)正確地選擇主泵的工作點，在其工作壓力范圍內(nèi)，應(yīng)能排除真空室內(nèi)工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。因此，真空室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的*佳抽速壓力范圍之內(nèi)。

(3)根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統(tǒng)抽到極限真空的時間有影響。當(dāng)抽氣時間要求一定時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

(4)正確地組合真空泵，由于真空泵有選擇性地抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

(5)若真空系統(tǒng)嚴(yán)格要求無油時，則應(yīng)該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴(yán)格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

(6)選擇真空泵時，應(yīng)該知道被抽氣體成分，針對被抽氣體成分選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆粒灰塵等，則應(yīng)該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等。或在泵的進(jìn)氣口管道上安裝輔助設(shè)備。

(7)根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護(hù)費用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)選擇主泵。

真空泵系統(tǒng)的主泵選擇